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研究・教員紹介

中村 成志氏 名 中村 成志 (ナカムラ セイジ / NAKAMURA Seiji)
職 位准教授
所 属電子情報システム工学科
電子情報システム工学域
年報
研究紹介
研究イメージ

次世代半導体の欠陥物性解明、評価技術開発、低損傷加工プロセス開発および新機能デバイス開発に関する研究を行っています。