菅原 宏治（スガワラ ヒロハル） 2007年度

研究業績

学会発表

Low temperature crystallization of TiO2 film by spray pyrolysis method, 26th Electronic Materials Symposium, 滋賀県守山市 2007年7月
"Characterization of In-doped ZnO thin film grown by spray CVD method", 26th Electronic Materials Symposium, 滋賀県守山市 2007年7月
「PLD法を用いた多孔質Si基板上への鉄シリサイドドロップレットの室温形成」,第55回応用物理学関係連合講演会 千葉県船橋市 2008年3月

論文発表

Crystallization of beta-FeSi2 droplets on silicon substrates by room temperature pulsed laser deposition, Thin Solid Films 515(2007),8189-8191. (2007年)
"Silicon-based photonic network devices and materials", Proceedings of SPIE -- Volume 6775, Active and Passive Optical Components for Communications VII, 67750O (Sep. 10, 2007) (2007年9月)

対外的な諸活動

学会活動

電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス時限研究専門委員会 委員
応用物理学会 シリサイド系半導体および関連物質研究会 委員