氏名 | 中村 成志(ナカムラ セイジ / NAKAMURA Seiji) |
---|---|
職位 | 准教授 |
所属 | 電子情報システム工学科 電子情報システム工学域 |
年報 |
研究紹介
次世代半導体の欠陥物性解明、評価技術開発、低損傷加工プロセス開発および新機能デバイス開発に関する研究を行っています。
氏名 | 中村 成志(ナカムラ セイジ / NAKAMURA Seiji) |
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職位 | 准教授 |
所属 | 電子情報システム工学科 電子情報システム工学域 |
年報 |
次世代半導体の欠陥物性解明、評価技術開発、低損傷加工プロセス開発および新機能デバイス開発に関する研究を行っています。