菅原 宏治(スガワラ ヒロハル) 2007年度
研究業績
学会発表
Low temperature crystallization of TiO2 film by spray pyrolysis method, 26th Electronic Materials Symposium, 滋賀県守山市 2007年7月
"Characterization of In-doped ZnO thin film grown by spray CVD method", 26th Electronic Materials Symposium, 滋賀県守山市 2007年7月
「PLD法を用いた多孔質Si基板上への鉄シリサイドドロップレットの室温形成」,第55回応用物理学関係連合講演会 千葉県船橋市 2008年3月
論文発表
Crystallization of beta-FeSi2 droplets on silicon substrates by room temperature pulsed laser deposition, Thin Solid Films 515(2007),8189-8191. (2007年)
"Silicon-based photonic network devices and materials", Proceedings of SPIE -- Volume 6775, Active and Passive Optical Components for Communications VII, 67750O (Sep. 10, 2007) (2007年9月)
対外的な諸活動
学会活動
電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス時限研究専門委員会 委員
応用物理学会 シリサイド系半導体および関連物質研究会 委員